Počet záznamů: 1
Multiaxis interferometric system for positioning in nanometrology
- 1.
SYSNO 0352186 Název Multiaxis interferometric system for positioning in nanometrology Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAI
Klapetek, P. (CZ)Zdroj.dok. Proceedings of the 9th WSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic. S. 92-95. - Sofia : WSEAS EUROPMENT Press, 2010 Konference WSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic /9./, Catania, 29.05.2010-31.10.2010 Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. BG Klíč.slova nanometrology * interferometry * traceability * local probe microscopy * nanopositioning Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0191759
Počet záznamů: 1