Počet záznamů: 1
Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth
- 1.
SYSNO 0351617 Název Fabrication of nanostructured aluminium thin film and in-situ monitoring of the growth Tvůrce(i) Novotný, Michal (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bulíř, Jiří (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Lančok, Ján (FZU-D) RID, ORCID
Pokorný, Petr (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Bodnár, Michal (FZU-D)
Piksová, K. (CZ)Zdroj.dok. Nanostructured Thin Films III. 7766OU/1-7766OU/8. - Bellingham : SPIE, 2010 / Martin-Palma R.J. ; Jen Y.-J. ; Lakhtakia A. Konference Nanostructured Thin Films III, San Diego, 04.08.2010-05.08.2010 Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) Grant IAA100100718 GA AV ČR - Akademie věd KAN400100653 GA AV ČR - Akademie věd GP202/09/P324 GA ČR - Grantová agentura ČR IAA100100729 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. US Klíč.slova aluminium ultra thin film * magnetron sputtering * in-situ monitoring * electrical conductivity * spectral ellipsometry * optical emission spectroscopy URL http://dx.doi.org/10.1117/12.860555 Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0191329
Počet záznamů: 1