Počet záznamů: 1
Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis
- 1.
SYSNO 0350662 Název Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis Tvůrce(i) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Rek, Antonín (UPT-D) RID
Mika, Filip (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Fořt, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějková, Jiřina (UPT-D)Zdroj.dok. Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. S. 29-32. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 / Mika F. Konference International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./, Skalský dvůr, 31.05.2010-04.06.2010 Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. CZ Klíč.slova Atomic Force Microscopy * AEM * Scanning Electron Microscopy * SEM * topography imaging Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0190602
Počet záznamů: 1