Počet záznamů: 1
A study of the ion flux during deposition of titanium thin films by hollow cathode plasma jet
- 1.
SYSNO 0333649 Název A study of the ion flux during deposition of titanium thin films by hollow cathode plasma jet Překlad názvu Studium iontového toku během depozice tenkých vrstev titanu pomocí plazmové trysky s efektem duté katody Tvůrce(i) Virostko, Petr (FZU-D)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Tichý, M. (CZ)Zdroj.dok. Journal of Plasma and Fusion Research SERIES. Roč. 8, - (2009), 719-723 Konference Proceedings of the 14th International Congress on Plasma Physics (ICPP2008), Fukuoka, 08.09.2008-12.09.2008 Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant KJB100100707 GA AV ČR - Akademie věd KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd 1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. JP Klíč.slova ion flux * plasma jet * hollow cathode * plasma diagnostics URL http://www.jspf.or.jp/JPFRS/PDF/Vol8/jpfrs2009_08-0719.pdf Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0178588
Počet záznamů: 1