Počet záznamů: 1  

A study of the ion flux during deposition of titanium thin films by hollow cathode plasma jet

  1. 1.
    SYSNO0333649
    NázevA study of the ion flux during deposition of titanium thin films by hollow cathode plasma jet
    Překlad názvuStudium iontového toku během depozice tenkých vrstev titanu pomocí plazmové trysky s efektem duté katody
    Tvůrce(i) Virostko, Petr (FZU-D)
    Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
    Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
    Tichý, M. (CZ)
    Zdroj.dok. Journal of Plasma and Fusion Research SERIES. Roč. 8, - (2009), 719-723
    Konference Proceedings of the 14th International Congress on Plasma Physics (ICPP2008), Fukuoka, 08.09.2008-12.09.2008
    Druh dok.Článek v odborném periodiku
    Grant KJB100100707 GA AV ČR - Akademie věd
    KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd
    1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
    CEZAV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.JP
    Klíč.slova ion flux * plasma jet * hollow cathode * plasma diagnostics
    URL http://www.jspf.or.jp/JPFRS/PDF/Vol8/jpfrs2009_08-0719.pdf
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0178588
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.