Počet záznamů: 1  

Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing

  1. 1.
    SYSNO0332842
    NázevHomogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing
    Tvůrce(i) Meduňa, M. (CZ)
    Caha, O. (CZ)
    Kuběna, J. (CZ)
    Kuběna, A. (CZ)
    Buršík, Jiří (UFM-A) RID, ORCID
    Zdroj.dok. Physica B-Condensed Matter. Roč. 404, - (2009), s. 4637-4640. - : Elsevier
    Druh dok.Článek v odborném periodiku
    Grant GA202/09/1013 GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika
    CEZAV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011)
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.NL
    Klíč.slova silicon * interstitial oxygen * oxygen precipitates
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0177972
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.