Počet záznamů: 1
Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing
- 1.
SYSNO 0332842 Název Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing Tvůrce(i) Meduňa, M. (CZ)
Caha, O. (CZ)
Kuběna, J. (CZ)
Kuběna, A. (CZ)
Buršík, Jiří (UFM-A) RID, ORCIDZdroj.dok. Physica B-Condensed Matter. Roč. 404, - (2009), s. 4637-4640. - : Elsevier Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant GA202/09/1013 GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika CEZ AV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011) Jazyk dok. eng Země vyd. NL Klíč.slova silicon * interstitial oxygen * oxygen precipitates Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0177972
Počet záznamů: 1