Počet záznamů: 1
Surface stoichiometry and depth profile of Ti.sub.x./sub.-Cu.sub.y./sub.N.sub.z./sub. thin films deposited by magnetron sputtering
- 1.
SYSNO ASEP 0552187 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Surface stoichiometry and depth profile of Tix-CuyNz thin films deposited by magnetron sputtering Tvůrce(i) Mukhopadhyay, A.K. (IN)
Roy, A. (IN)
Bhattacharjee, G. (IN)
Das, S.C. (IN)
Majumdar, A. (IN)
Wulff, H. (DE)
Hippler, Rainer (FZU-D) ORCIDCelkový počet autorů 7 Číslo článku 3191 Zdroj.dok. Materials. - : MDPI
Roč. 14, č. 12 (2021)Poč.str. 14 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova magnetron sputtering ; Ti-Cu-N coating ; N incorporation ; X-ray photoelectron spectroscopy ; X-ray diffraction ; transmission electron microscopy Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) Způsob publikování Open access Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000667019900001 EID SCOPUS 85108311702 DOI 10.3390/ma14123191 Anotace We report the surface stoichiometry of Tix-CuyNz thin film as a function of film depth. Films are deposited by high power impulse (HiPIMS) and DC magnetron sputtering (DCMS). The composition of Ti, Cu, and N in the deposited film is investigated by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). At a larger depth, the relative composition of Cu and Ti in the film is increased compared to the surface. The amount of adventitious carbon which is present on the film surface strongly decreases with film depth. Deposited films also contain a significant amount of oxygen whose origin is not fully clear. Grazing incidence X-ray diffraction (GIXD) shows a Cu3N phase on the surface, while transmission electron microscopy (TEM) indicates a polycrystalline structure and the presence of a Ti3CuN phase. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2022 Elektronická adresa http://hdl.handle.net/11104/0327392
Počet záznamů: 1