Počet záznamů: 1  

A micro-scale hot wire anemometer based on low stress (Ni/W) multi-layers deposited on nano-crystalline diamond for air flow sensing

  1. 1.
    SYSNO ASEP0486440
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JČlánek ve WOS
    NázevA micro-scale hot wire anemometer based on low stress (Ni/W) multi-layers deposited on nano-crystalline diamond for air flow sensing
    Tvůrce(i) Talbi, A. (FR)
    Gimeno, L. (FR)
    Gerbedoen, J.-C. (FR)
    Viard, R. (FR)
    Soltani, A. (FR)
    Mortet, Vincent (FZU-D) RID, ORCID
    Preobrazhensky, V. (FR)
    Merlen, A. (FR)
    Pernod, P. (FR)
    Celkový počet autorů9
    Číslo článku125029
    Zdroj.dok.Journal of Micromechanics and Microengineering - ISSN 0960-1317
    Roč. 25, č. 2 (2015), s. 1-8
    Poč.str.8 s.
    Forma vydáníTištěná - P
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.GB - Velká Británie
    Klíč. slovahot wire ; nano-crystalline diamond ; active flow control ; anemometry
    Vědní obor RIVBM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    Obor OECDCondensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
    Institucionální podporaFZU-D - RVO:68378271
    UT WOS000366868400032
    EID SCOPUS84948675879
    DOI10.1088/0960-1317/25/12/125029
    AnotaceA linear array of microscale thermal anemometers has been designed, fabricated and characterized. The sensitive element consists of a self-compensated-stress multilayer (Ni/W) patterned to form a wire with length, width, and thickness close to 200 mu m, 5 mu m and 2 mu m respectively. The wire is deposited and supported by prongs made of nano-crystalline diamond (NCD) of about 2 mu m in thickness. Due to its high Young's modulus, NCD allows a very high mechanical toughness without the need for thicker support for the hot wire. Also, depending on grain size, the NCD is able to present thermal conductivity smaller than 10 W mK(-1), providing good thermal insulation from the substrate and less conductive end losses to the prongs. The sensor was characterized experimentally. Its electrical and thermal properties were obtained first in the absence of fluid flow. The results confirm the effectiveness of thermal insulation and the mechanical robustness of the structure
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2018
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.