Počet záznamů: 1
The combined technological methods for deposition of Si:H thin films and structures with in situ embedded nanoparticles
- 1.
SYSNO ASEP 0451866 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název The combined technological methods for deposition of Si:H thin films and structures with in situ embedded nanoparticles Tvůrce(i) Stuchlík, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Stuchlíková, The-Ha (FZU-D) RID, ORCID
Remeš, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID
Purkrt, Adam (FZU-D) RID
Fajgar, Radek (UCHP-M) RID, ORCID, SAI
Koštejn, Martin (UCHP-M) RID, SAI, ORCID
Zhuravlev, K. (RU)
Kupčík, Jaroslav (UCHP-M) RID, ORCID, SAI
Sveshnikova, L. (RU)
Galkin, K.N. (RU)
Galkin, N.G. (RU)Zdroj.dok. Advanced Science, Engineering and Medicine - ISSN 2164-6627
Roč. 7, č. 4 (2015), s. 265-269Poč.str. 5 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova PECVD ; RDE ; LA ; RLA ; VE ; PT Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP LH12236 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 ; UCHP-M - RVO:67985858 DOI 10.1166/asem.2015.1689 Anotace Up to now the deposited thin film structures on the base of hydrogenated silicon (Si:H) by PECVD technique are applied in many devices. Although the quality of Si:H thin films was modified by change of technological parameters and Si:H was studied intensively for many years, the possible applications are still limited. Therefore, we study the combined methods of Si:H thin films deposition with embedded nanoparticles, modify the quality of the Si:H thin films and made them convenient for further applications, for example light emitting diodes (LEDs. Our paper is focused on technology details of deposition of PbS and Mg2Si nanoparticles embedded in a-Si matrix with the emphasis on the in situ deposition without interruption of vacuum process. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2017
Počet záznamů: 1