Počet záznamů: 1
Wave Optical Calculation of Probe Size in Low Energy Scanning Electron Microscope
- 1.
SYSNO ASEP 0451582 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Wave Optical Calculation of Probe Size in Low Energy Scanning Electron Microscope Tvůrce(i) Radlička, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI Celkový počet autorů 1 Zdroj.dok. Microscopy and Microanalysis. - : Cambridge University Press - ISSN 1431-9276
Roč. 21, S4 (2015), s. 212-217Poč.str. 6 s. Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova scanning electron microscope ; optical calculation Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 DOI 10.1017/S1431927615013392 Anotace A wave optical calculation of the probe size of a low energy scanning electron microscope is presented. The resolution for the optimal aperture was computed and compared with results of standard approaches. The effect of deflection aberrations is also considered, and it was found to be critical for the landing energies below 5eV and fields of view larger than 100 x 100 pím2. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2016
Počet záznamů: 1