Počet záznamů: 1
Praktická elektronová litografie
- 1.
SYSNO ASEP 0423948 Druh ASEP B - Monografie Zařazení RIV B - Odborná monografie, kniha Název Praktická elektronová litografie Překlad názvu Practical E-Beam Lithography Tvůrce(i) Matějka, František (UPT-D) RID, SAI Celkový počet autorů 1 Vyd. údaje Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i, 2013 ISBN 978-80-87441-04-6 Poč.str. 88 s. Poč.výt. 100 Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. cze - čeština Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova e-beam lithography ; e-beam resist ; e-beam exposure Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 Anotace Kniha předkládá čtenáři základní koncepty elektronové litografie a autorovy praktické zkušenosti za období třicetileté soustavné činnosti v oboru elektronové litografie a souvisejících technologických postupech. Překlad anotace The book presents concepts of electron beam lithography and offers results of author's practical experience over thirty-year continuous activity in the field of e-beam lithography and related processes. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2014
Počet záznamů: 1