Počet záznamů: 1

Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers

SYSNO ASEP	0397634
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers
Tvůrce(i)	Bok, Jan (UPT-D)_RID Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, František (UPT-D)_{RID, SAI}
Celkový počet autorů	5
Zdroj.dok.	Journal of Vacuum Science & Technology B. - : American Institute of Physics - ISSN 1071-1023 Roč. 31, č. 3 (2013), 031603:1-6
Poč.str.	6 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	US - Spojené státy americké
Klíč. slova	electron-beam ; intensity distribution ; aperture ; detector ; profile ; size
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
UT WOS	000320130500054
EID SCOPUS	84878371877
DOI	10.1116/1.4802920
Anotace	In this paper, the authors present a modified knife-edge method for two-dimensional current density mapping in electron-beam writing systems. This method is applicable in rectangular and in variable-shaped e-beam writers with a fixed mutual position of the e-beam and the 1st shutter during exposure. In contrast to other methods, the modified knife-edge method uses only native parts of the e-beam writer, giving it the advantage of easy implementation. The measurement error of our method is analyzed and the trade-off between the result accuracy, the current density resolution and the measurement duration is discussed. The presented method is demonstrated by adjusting an electron emitter in order to select a homogeneous e-beam pattern.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2014

Počet záznamů: 1