Počet záznamů: 1

Water as a nontraditional agent for microchips customization

SYSNO ASEP	0395396
Druh ASEP	A - Abstrakt
Zařazení RIV	Záznam nebyl označen do RIV
Zařazení RIV	Není vybrán druh dokumentu
Název	Water as a nontraditional agent for microchips customization
Tvůrce(i)	Karásek, Pavel (UIACH-O)_{RID, ORCID} Grym, Jakub (UIACH-O) Roth, Michal (UIACH-O)_{RID, ORCID} Planeta, Josef (UIACH-O)_{RID, ORCID}
Celkový počet autorů	4
Zdroj.dok.	9th Balaton Symposium on High-Performance Separation Methods. - Veszprém : Hungarian Society for Separation Sciences, 2013 - ISBN 978-963-89335-2-2 S. 153
Poč.str.	1 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Akce	Balaton Symposium on High-Performance Separation Methods /9./
Datum konání	04.09.2013-06.09.2013
Místo konání	Siofók
Země	HU - Maďarsko
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	HU - Maďarsko
Klíč. slova	SCW ; microchip ; supercritical
Vědní obor RIV	CB - Analytická chemie, separace
CEP	GBP206/12/G014 GA ČR - Grantová agentura ČR
	GAP106/12/0522 GA ČR - Grantová agentura ČR
	EE2.3.20.0182 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UIACH-O - RVO:68081715
Anotace	This work presents unique properties of supercritical water and posibilities of utilization for microchips manufacturing. The traditional etching mixture based on HF was replaced by sub/supercritical water and channel parameters (wide, depth, surface structure) were studied by laser profilometry and scanning electron microscopy.
Pracoviště	Ústav analytické chemie
Kontakt	Iveta Drobníková, drobnikova@iach.cz, Tel.: 532 290 234
Rok sběru	2014

Počet záznamů: 1