Počet záznamů: 1  

Plazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev

  1. 1.
    SYSNO ASEP0383946
    Druh ASEPP1 - Užitný vzor, průmyslový vzor
    Zařazení RIVF - Výsledky s právní ochranou (užitný vzor, průmyslový vzor)
    Poddruh RIVUžitný vzor
    NázevPlazmový systém určený pro depozici perovskitových tenkých vrstev
    Překlad názvuPlasma system developed for deposition of perovskite thin films
    Tvůrce(i) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Dejneka, Alexandr (FZU-D) RID, ORCID
    Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
    Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
    Suchaneck, G. (DE)
    Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
    Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
    Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
    Rok vydání2012
    Vlastník vzoruFyzikální ústav AV ČR, v.v. i
    SídloNa Slovance 2, 182 21 Praha 8
    Datum udělení vzoru21.05.2012
    Číslo vzoru23845
    Lic. popl.A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
    VyužitíA - Pouze udělený (dosud nevyužívaný) patent nebo patent využívaný jeho vlastníkem
    Využití jiným subjektemA - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
    Kód vydavatele patentuCZ001 - Úřad průmyslového vlastnictví Prague
    Jazyk dok.cze - čeština
    Klíč. slovaplasma ; magnetron sputtering ; plasma-jet ; PZT thin films
    Vědní obor RIVBH - Optika, masery a lasery
    CEPGC202/09/J017 GA ČR - Grantová agentura ČR
    TA01010517 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
    GAP205/11/0386 GA ČR - Grantová agentura ČR
    CEZAV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
    AnotaceTechnické řešení spadá do oblasti technologických postupů depozice tenkých perovskitových, a to dielektrických, piezoelektrických i ferroelektrických, vrstev s využitím plazmochemických reakcí a pulzním ohřevem substrátu. Týká se konstrukce systému zejména pro realizaci depozice tenkých nanokrystalických vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 (dále vrstev PZT) za nízké teploty na polymerový substrát nebo na polymerový substrát s kovovou elektrodou.
    Překlad anotaceThe technical solution falls within the technological processes of deposition of thin perovskite, especially dielectric, piezoelectric and ferroelectric, films using plasma-chemical reactions and pulsed heating of the substrate. This applies especially for system design for implementation of deposition of thin films of nanocrystalline Pb (ZrxTi1-x)O3 (further PZT layers) at low temperature on the polymer substrate or on a polymer substrate with a metal electrode.
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2013
    Elektronická adresahttp://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0023/uv023845.pdf
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.