Počet záznamů: 1
Influence of CO.sub.2./sub. concentration on diamond film morphology in pulsed linear antenna microwave plasma CVD system
- 1.
SYSNO ASEP 0375441 Druh ASEP K - Konferenční příspěvek (lokální konf.) Zařazení RIV Stať ve sborníku Název Influence of CO2 concentration on diamond film morphology in pulsed linear antenna microwave plasma CVD system Tvůrce(i) Domonkos, M. (CZ)
Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hruška, Karel (FZU-D) RID, ORCIDZdroj.dok. Proceedings of the 2nd Winter Education Seminar. - Praha : FZÚ AV ČR, 2011 / Remeš Z. ; Kromka A. ; Ledinský M. - ISBN 978-80-260-0911-5
S. 33-37Poč.str. 5 s. Akce Winter educational seminar /2./ Datum konání 16.02.2011-18.02.2011 Místo konání Rokytnice n. J. Země CZ - Česká republika Typ akce CST Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova nanocrystalline diamond ; large area growth ; growth rate ; CO2 addition ; SEM ; Raman Spectroscopy Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP MEB0810082 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy KAN400100701 GA AV ČR - Akademie věd IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd MEB0810081 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011) Anotace The diamond films were deposited in a pulsed linear antenna microwave plasma system. The influence of CO2 addition into the standard CH4/H2 gas mixture on the diamond film morphology was investigated. The concentration of CO2 varied from 0% up to 80% in CO2/CH4/H2 gas mixture. The film morphology, the growth rate and the ratio of sp3/sp2 carbon bonds were investigated. It was found that increasing of CO2 concentration resulted in enhanced growth rate (from 20 up to 36 nm/h). However, at very high CO2 concentrations (>40%) dominates etching instead of growth process. Moreover, we found that increasing of CO2 enhances the diamond film quality. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1