Počet záznamů: 1
Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01
- 1.
SYSNO ASEP 0371302 Druh ASEP L - Prototyp, funkční vzorek Zařazení RIV G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) Poddruh RIV Funkční vzorek Název Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01 Překlad názvu Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01 Tvůrce(i) Šmíd, Jiří (FZU-D)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Churpita, Olexandr (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Lukašík, P. (CZ)
Piják, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)
Martinek, P. (CZ)
Pitrun, J. (CZ)
Rek, Š. (CZ)
Konečný, L. (CZ)
Mareš, G. (CZ)
Štepánek, J. (CZ)
Jakeš, J. (CZ)
Křenek, Z. (CZ)
Joštic, M. (CZ)Rok vydání 2011 Int.kód PST1/FZÚ-SVCS/2011 Lokalizace výsledku FZÚ AVČR, v. v. i. Technické parametry Vnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH Ekonomické parametry Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Název vlastníka 50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o. IČ vlastníka 68378271 Kat.výsl.dle nákl. A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Využ. jiným subjektem A - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence Požad. na licenč. popl. A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek Jazyk dok. cze - čeština Země vlastníka CZ - Česká republika Klíč. slova microwave ; surfatron ; thin films ; plasma ; deposition ; plasma jet ; surface wave Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech CEP TA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura ČR CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Anotace V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli hybridní a modulární plazmatický zdroj se systémem plazmatických kanálů generovaných povrchovou elektromagnetickou vlnou. Překlad anotace Hybrid and modular plasma source with system of plasma jets generated by electromagnetic surface wave was developed in frame of grant TACR. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1