Počet záznamů: 1  

Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01

  1. 1.
    SYSNO ASEP0371302
    Druh ASEPL - Prototyp, funkční vzorek
    Zařazení RIVG - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
    Poddruh RIVFunkční vzorek
    NázevHybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01
    Překlad názvuHybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01
    Tvůrce(i) Šmíd, Jiří (FZU-D)
    Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
    Churpita, Olexandr (FZU-D) RID, ORCID
    Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
    Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
    Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
    Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
    Lukašík, P. (CZ)
    Piják, A. (CZ)
    Dolák, J. (CZ)
    Martinek, P. (CZ)
    Pitrun, J. (CZ)
    Rek, Š. (CZ)
    Konečný, L. (CZ)
    Mareš, G. (CZ)
    Štepánek, J. (CZ)
    Jakeš, J. (CZ)
    Křenek, Z. (CZ)
    Joštic, M. (CZ)
    Rok vydání2011
    Int.kódPST1/FZÚ-SVCS/2011
    Lokalizace výsledkuFZÚ AVČR, v. v. i.
    Technické parametryVnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH
    Ekonomické parametryLaboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    Název vlastníka50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o.
    IČ vlastníka68378271
    Kat.výsl.dle nákl.A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč
    Využ. jiným subjektemA - Pro využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
    Požad. na licenč. popl.A - Poskytovatel licence požaduje licenční poplatek
    Jazyk dok.cze - čeština
    Země vlastníkaCZ - Česká republika
    Klíč. slovamicrowave ; surfatron ; thin films ; plasma ; deposition ; plasma jet ; surface wave
    Vědní obor RIVBL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
    CEPTA01011740 GA TA ČR - Technologická agentura České republiky
    CEZAV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
    AnotaceV rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli hybridní a modulární plazmatický zdroj se systémem plazmatických kanálů generovaných povrchovou elektromagnetickou vlnou.
    Překlad anotaceHybrid and modular plasma source with system of plasma jets generated by electromagnetic surface wave was developed in frame of grant TACR.
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2012
Počet záznamů: 1