Počet záznamů: 1
Simulation of Energy Selective signal Amplification in Gas Environment of Variable Pressure SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0368930 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Simulation of Energy Selective signal Amplification in Gas Environment of Variable Pressure SEM Tvůrce(i) Neděla, Vilém (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lencová, B. (CZ)
Zlámal, J. (CZ)Celkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Microscopy and Microanalysis. - : Cambridge University Press - ISSN 1431-9276
Roč. 17, Suppl. 2 (2011), s. 920-921Poč.str. 2 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova variable pressure scanning electron microscopes (VP-SEM) ; AQUASEM II ; simlulation Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GAP102/10/1410 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) DOI 10.1017/S1431927611005472 Anotace High pressure of gas mostly water vapour, with pressure range from 0.1 Pa to 80 Pa in the first differentially pumped chamber and 10 Pa to over 2000 Pa in the specimen chamber is used in variable pressure scanning electron microscopes (VP-SEM) such as our experimental AQUASEM II equipped with a combined YAG-BSE and ionization detector of SE. The gas environment causes unwanted primary electron beam diffusion, but it also supports gas ionization cascade amplification of the signal of secondary electrons (SE), accelerated by the applied field of detection electrode of the ionisation detector. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1