Počet záznamů: 1

Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen

SYSNO ASEP	0368783
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen
Tvůrce(i)	Bursíková, V. (CZ) Sťahel, P. (CZ) Gardelka, T. (CZ) Bochnicek, Z. (CZ) Peřina, Vratislav (UJF-V)_RID Havránek, Vladimír (UJF-V)_{RID, SAI, ORCID} Mikšová, Romana (UJF-V)_{RID, ORCID, SAI}
Celkový počet autorů	7
Zdroj.dok.	SAPP 18th Symposium on Application of Plasma Processes SAPP XVIII , Workshop on Plasmas as a Planetary. - Bratislava : Department of Experimental Physics, Faculty of Mathematics,, 2011 / Országh J. ; Papp P. ; Matejčík Š. - ISBN 978-80-89186-77-8
Rozsah stran	pp.347-pp.402
Poč.str.	55 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Akce	18th Symposium on Application of Plasma Processes and
Datum konání	15.01.2011-20.01.2011
Místo konání	Vrátna dolina
Země	SK - Slovensko
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	SK - Slovensko
Klíč. slova	Spectroscopy ; silicon oxide
Vědní obor RIV	BG - Jaderná, atomová a mol. fyzika, urychlovače
CEP	GA202/07/1669 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z10480505 - UJF-V (2005-2011)
Anotace	Diamond-like carbon coatings with various silicon-oxide content were deposited on different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in capacitively coupled r.f. discharge (13.56 MHz). Complete atomic compositions, including hydrogen content and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements in the range 1.5-5.2 eV. The mechanical properties of prepared coatings (e.g. hardness, elastic modulus, fracture toughness, coating/substrate adhesion etc.) were studied by means of depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated.
Pracoviště	Ústav jaderné fyziky
Kontakt	Markéta Sommerová, sommerova@ujf.cas.cz, Tel.: 266 173 228
Rok sběru	2013

Počet záznamů: 1