Počet záznamů: 1
Size-controlled formation of Cu nanoclusters in pulsed magnetron sputtering system
- 1.
SYSNO ASEP 0367262 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Size-controlled formation of Cu nanoclusters in pulsed magnetron sputtering system Tvůrce(i) Straňák, V. (DE)
Block, S. (DE)
Drache, S. (DE)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Helm, Ch.A. (DE)
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Tichý, M. (CZ)
Hippler, R. (DE)Zdroj.dok. Surface and Coatings Technology. - : Elsevier - ISSN 0257-8972
Roč. 205, 8-9 (2011), s. 2755-2762Poč.str. 8 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova Cu cluster growth ; pulsed magnetron sputtering ; cluster mass- and size- distribution ; AFM Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd 1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) UT WOS 000286905100009 DOI 10.1016/j.surfcoat.2010.10.030 Anotace Size-controlled Cu clusters are formed in a system which combines pulsed magnetron sputtering and gas condensation at room temperature. The discharge repetition frequency (0.1–25 kHz) and the duty cycles (20–90%) of the magnetron sputtering are varied systematically, the influence of discharge current (100–800 mA) and the pressure in the condensation tube (25–90 Pa) is also investigated. For all preparation conditions, the cluster mass shows a lognormal distribution. A non-monotonic frequency dependence with a maximum at 1 kHz and 20% of duty cycle is observed (about 105amu, or cluster diameter 8–10 nm). By adjusting discharge frequency and duty cycle, the cluster mass can be decreased by one order of magnitude. We suggest that this effect is caused by energy dissipated into the aggregation tube; and find a critical buffer gas temperature Tg-cr which limits cluster growth. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1