Počet záznamů: 1

Characterization and optical properties of TiO.sub.2./sub. prepared by pulsed laserdeposition

SYSNO ASEP	0366495
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Characterization and optical properties of TiO₂ prepared by pulsed laserdeposition
Tvůrce(i)	Kádár, O. (HU) Uherek, F. (SK) Chlpík, J. (SK) Remsa, Jan (FZU-D)_{RID, ORCID} Bruncko, J. (SK) Vincze, A. (SK) Jelínek, Miroslav (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	ASDAM 2010-Conference Proceedings-The Eighth International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems. - Piscataway : IEEE, 2010 / Breza J. ; Donoval D. ; Vavrinsky E. - ISBN 978-1-4244-8575-8
Rozsah stran	s. 301-304
Poč.str.	4 s.
Akce	International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems /8./
Datum konání	25.10.2010-27.10.2010
Místo konání	Smolenice
Země	SK - Slovensko
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	US - Spojené státy americké
Klíč. slova	titanium dioxide ; pulsed laser deposition ; waveguides
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	MEB0810156 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Anotace	The contribution reports on fabrication and characterization of TiO2 thin films on Si substrate. The TiO2 thin films are used for photonic devices in optical communication systems. The most important parameter for the waveguide structures is the refractive index. The crystalline TiO2 polymorphs can have different refractive index depending on the structure phase, which is technology dependent. The waveguide structures was prepared by pulsed laser deposition using 248 nm KrF laser source and targets of Ti or rutile in oxygen atmosphere. The optical characterization were done using spectroscopic ellipsometry providing the information about electron band gap values and determining the optical parameters (thickness and refractive index) of prepared TiO2 thin films. Secondary ion mass spectroscopy (SIMS) and secondary electron microscopy (SEM) was done to verify the vertical and chemical structure.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2012

Počet záznamů: 1