Počet záznamů: 1

Mechanical and tribological properties of coatings sputtered from SiC target in the presence of CH.sub.4./sub. gas

SYSNO ASEP	0359397
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Mechanical and tribological properties of coatings sputtered from SiC target in the presence of CH₄ gas
Tvůrce(i)	Kulykovskyy, Valeriy (FZU-D)_RID Vorlíček, Vladimír (FZU-D)_RID Čtvrtlík, Radim (FZU-D)_{RID, ORCID} Boháč, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID} Suchánek, J. (CZ) Bláhová, O. (CZ) Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Surface and Coatings Technology. - : Elsevier - ISSN 0257-8972 Roč. 205, č. 11 (2011), s. 3372-3376
Poč.str.	6 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CH - Švýcarsko
Klíč. slova	amorphous SiC films ; sputtering ; hardness ; coefficient of friction ; Raman spectra
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd
	1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
UT WOS	000287906900005
DOI	10.1016/j.surfcoat.2010.11.057
Anotace	In the present work the amorphous hydrogenated silicon-carbide (a-SiC:H) films with different C/Si ratio were prepared at room temperature using DC magnetron sputtering in two ways: (i) sputtering of silicon target; (ii) sputtering of SiC target, both in the gas mixture of Ar and CH4. In the latter case the films contained less hydrogen at the same C/Si ratio. The mechanical and tribological properties of these films were studied to find their optimum combination. The hardness, elastic modulus (nanoindentation), intrinsic stress (Stoney's formula) and coefficient of friction (pin on disc tribometer) were examined in dependence on the technological parameters, film structure and composition (Raman spectra, electron probe microanalysis).
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2012

Počet záznamů: 1