Počet záznamů: 1  

Properties of the cathode lens combined with a focusing magnetic/immersion-magnetic lens

  1. 1.
    SYSNO ASEP0358594
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JČlánek ve WOS
    NázevProperties of the cathode lens combined with a focusing magnetic/immersion-magnetic lens
    Tvůrce(i) Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Celkový počet autorů2
    Zdroj.dok.Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section A. - : Elsevier - ISSN 0168-9002
    Roč. 645, č. 1 (2011), s. 55-59
    Poč.str.5 s.
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.NL - Nizozemsko
    Klíč. slovacathode lens ; compound objective lens ; aberration coefficients ; spot size ; field calculations
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    CEPGAP102/10/1410 GA ČR - Grantová agentura ČR
    IAA100650902 GA AV ČR - Akademie věd
    ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    CEZAV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
    UT WOS000292713900012
    DOI10.1016/j.nima.2010.12.232
    AnotaceThe cathode lens is an electron optical element in an emission electron microscope accelerating electrons from the sample, which serves as a source for a beam of electrons. Special application consists in using the cathode lens first for retardation of an illuminating electron beam and then for acceleration of reflected as well as secondary electrons, made in the directly imaging low energy electron microscope or in its scanning version discussed here. In order to form a real image, the cathode lens has to be combined with a focusing magnetic lens or a focusing immersion-magnetic lens, as used for objective lenses of some commercial scanning electron microscopes. These two alternatives are compared with regards to their optical properties, in particular with respect to predicted aberration coefficients and the spot size, as well as the optimum angular aperture of the primary beam. The important role of the final aperture size on the image resolution is also presented.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2012
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.