Počet záznamů: 1
Comparison of calculated, simulated and measured signal amplification in variable pressure SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0358591 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Comparison of calculated, simulated and measured signal amplification in variable pressure SEM Tvůrce(i) Neděla, Vilém (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Konvalina, Ivo (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lencová, Bohumila (UPT-D) RID, SAI
Zlámal, J. (CZ)Celkový počet autorů 4 Zdroj.dok. Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section A. - : Elsevier - ISSN 0168-9002
Roč. 645, č. 1 (2011), s. 79-83Poč.str. 5 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. NL - Nizozemsko Klíč. slova electron-gas interactions ; Monte Carlo simulations ; signal amplification ; analytical models Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GAP102/10/1410 GA ČR - Grantová agentura ČR FR-TI1/118 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu FR-TI1/305 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) UT WOS 000292713900016 EID SCOPUS 79958188896 DOI 10.1016/j.nima.2010.12.200 Anotace This paper presents computed dependencies of signal amplification of detected electrons on the water vapor pressure in a variable pressure SEM using the EOD software equipped with a Monte Carlo plug-in. We analyze the amplification at selected energies of signal electrons going through a high-pressure water vapor and total signal amplification by including a realistic simulation of the secondary emission from sample. The results are compared with experimental measurements and the dependencies of published analytical models. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2012
Počet záznamů: 1