Počet záznamů: 1

Toward surface-friendly treatment of seeding layer and selected-area diamond growth

SYSNO ASEP	0354793
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Toward surface-friendly treatment of seeding layer and selected-area diamond growth
Tvůrce(i)	Babchenko, Oleg (FZU-D)_{RID, ORCID} Ižák, Tibor (FZU-D)_RID Ukraintsev, Egor (FZU-D)_{RID, ORCID} Hruška, Karel (FZU-D)_{RID, ORCID} Rezek, Bohuslav (FZU-D)_{RID, ORCID}
Celkový počet autorů	5
Zdroj.dok.	Physica Status Solidi B : Basic Solid State Physics. - : Wiley - ISSN 0370-1972 Roč. 247, 11-12 (2010), s. 3026-3029
Poč.str.	4 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	DE - Německo
Klíč. slova	diamond structuring ; lithography ; reactive ion etching ; selected-area deposition
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	KAN400100701 GA AV ČR - Akademie věd
	KAN400480701 GA AV ČR - Akademie věd
	LC510 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd
	1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011)
UT WOS	000285798400091
DOI	10.1002/pssb.201000124
Anotace	Several technological approaches of applying photoresistive polymer for patterning the diamond seeding layer while minimizing damage of substrate surface is reported. Reactive ion etching (i.e., dry process) and wet photolithographical processing using two polymer layers are compared and combined as treatment techniques. Subsequently, diamond structures are deposited by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition from a gas mixture of methane diluted in hydrogen. The highest efficiency for selected-area deposition, with the parasitic density as low as the technological limit of 105 cm−2, was achieved by combining the two treatment techniques. Technological advantages and limitation of dry and wet treatment process are pointed out.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2011

Počet záznamů: 1