Počet záznamů: 1

Interferometric nanocomparator for calibrating precision displacement sensors

SYSNO ASEP	0352218
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Interferometric nanocomparator for calibrating precision displacement sensors
Tvůrce(i)	Čížek, Martin (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Buchta, Zdeněk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Mikel, Břetislav (UPT-D)_{RID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Celkový počet autorů	5
Zdroj.dok.	Interferometry XV: Applications (Proceedings of SPIE Vol. 7791). - Bellingham : SPIE, 2010 - ISBN 978-0-8194-8287-7
Rozsah stran	77910n: 1-7
Poč.str.	7 s.
Akce	Interferometry /15./
Datum konání	02.08.2010
Místo konání	San Diego
Země	US - Spojené státy americké
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	US - Spojené státy americké
Klíč. slova	interferometry ; nanometrology ; calibration
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
UT WOS	000296025100021
Anotace	Presented work deals with the description of a novel interferometric nanocomparator intended for calibrating displacement sensors with nanometer resolution used in precision engineering. The nanocomparator is based on a 633 nm laser homodyne interferometer with 2-pass measuring arm. Digital signal filtering increases the SNR and allows achieving sub-nanometer resolution of interferometric measurements. High dynamic range of the measuring mirror displacement is achieved using a two-stage positioning system formed of a linear guide way and piezoelectric actuators. A linear guide way is used for positioning over a 100 mm range with 50 nm resolution. Piezoelectric actuators linked in a closed loop locked to the interferometer value are used for fine positioning with better than 1 nm resolution over a 5 um range.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2011

Počet záznamů: 1