Počet záznamů: 1  

Laser source for interferometry in nanotechnology

    1.
    SYSNO ASEP0352207
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevLaser source for interferometry in nanotechnology
    Tvůrce(i) Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Celkový počet autorů4
    Zdroj.dok.17th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics (Proceedings of SPIE Vol. 7746). - Bellingham : SPIE, 2010 - ISBN 978-0-8194-8236-5
    Rozsah stran77461i: 1-6
    Poč.str.6 s.
    AkceSlovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics /17./
    Datum konání06.09.2010
    Místo konáníLiptovsky Jan
    ZeměSK - Slovensko
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.US - Spojené státy americké
    Klíč. slovaatomic force microscopy ; nanometrology ; interferometry
    Vědní obor RIVBH - Optika, masery a lasery
    CEPLC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
    FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
    2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
    GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR
    GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR
    CEZAV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
    UT WOS000291389400054
    AnotaceThe contribution is oriented towards measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. The need to make the AFM microscope a nanometrology tool not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary etalon. This leads to the engagement of laser interferometric measuring methods. We present a design of a single-frequency stabilized laser which serves as a laser source for multiaxis position control of a nanopositioning stage. The laser stabilization technique is described together with comparison of frequency stability.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2011
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.

Přijmout všeNastaveníOdmítnout vše