Počet záznamů: 1

Laser Measuring Gauge for Precise Transducer Calibrations in Nanometric Scale

SYSNO ASEP	0352197
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Laser Measuring Gauge for Precise Transducer Calibrations in Nanometric Scale
Tvůrce(i)	Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Čížek, Martin (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Buchta, Zdeněk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Mikel, Břetislav (UPT-D)_{RID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Hrabina, Jan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Celkový počet autorů	6
Zdroj.dok.	Proceedings of the International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications. - Ottawa : International ASET, 2010 - ISBN 978-0-9867183-0-4
Rozsah stran	582: 1-5
Poč.str.	5 s.
Akce	Nanotechnology: Fundamentals and Applications
Datum konání	04.08.2010-06.08.2010
Místo konání	Ottawa
Země	CA - Kanada
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CA - Kanada
Klíč. slova	nanometrology ; sensors ; distance measurements ; measuring gauge
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEP	LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd
	FR-TI1/241 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR
	GAP102/10/1813 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Anotace	The precise transducers like capacitive, inductive or incremental sensors for distance measurements are used in nanometrology applications very often. They measure 3D position of a cantilever in AFM microscopy stage, they sense thickness of nano-layers or they help us to identify thermal dilatation of nanomaterials. Their main advantages are: lower price than laser interferometers, smaller dimensions and possibility to insert them into very complicated measuring setup. Before installing these sensors for various nanotechnology applications it is necessary to calibrate their scale by high-resolution laser interferometer. Such an interferometer is implemented into special measuring gauge where the investigated sensor is inserted and calibrated. In the work we present new laser measuring system for precise calibrations of length measuring transducers. This gauge is called nano-comparator because the resolution of the positioning of its measuring probe is in order of nanometers.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2011

Počet záznamů: 1