Počet záznamů: 1

Laser Source for Interferometry in Nanometrology

SYSNO ASEP	0352194
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Laser Source for Interferometry in Nanometrology
Tvůrce(i)	Hrabina, Jan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Čížek, Martin (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Proceedings of the International Conference on Nanotechnology: Fundamentals and Applications. - Ottawa : International ASET, 2010 - ISBN 978-0-9867183-0-4
Rozsah stran	541: 1-6
Poč.str.	6 s.
Akce	Nanotechnology: Fundamentals and Applications
Datum konání	04.08.2010-06.08.2010
Místo konání	Ottawa
Země	CA - Kanada
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CA - Kanada
Klíč. slova	nanometrology ; AFM microscopy ; interferometry
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEP	LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR
	GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
Anotace	The contribution is oriented towards measuring in the nanoscale through local probe microscopy techniques, primarily the AFM microscopy. The need to make the AFM microscope a nanometrology tool not only the positioning of the tip has to be based on precise measurements but the traceability of the measuring technique has to be ensured up to the primary etalon. This leads to the engagement of laser interferometric measuring methods. We present a design of a single-frequency stabilized laser which serves as a laser source for multiaxis position control of a nanopositioning stage. We have decided for a frequency-doubled Nd:YAG laser with thermal frequency control locked to a Doppler-broadened absorption line in iodine. The laser stabilization technique is described together with comparison of frequency stability.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2011

Počet záznamů: 1