Počet záznamů: 1
Multiaxis interferometric system for positioning in nanometrology
- 1.
SYSNO ASEP 0352186 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Multiaxis interferometric system for positioning in nanometrology Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAI
Klapetek, P. (CZ)Celkový počet autorů 6 Zdroj.dok. Proceedings of the 9th WSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic. - Sofia : WSEAS EUROPMENT Press, 2010 - ISSN 1790-5117 - ISBN 978-954-92600-3-8 Rozsah stran s. 92-95 Poč.str. 4 s. Akce WSEAS International Conference on Microelectronics, Nanoelectronics, Optoelectronic /9./ Datum konání 29.05.2010-31.10.2010 Místo konání Catania Země IT - Itálie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. BG - Bulharsko Klíč. slova nanometrology ; interferometry ; traceability ; local probe microscopy ; nanopositioning Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace We present a system for dimensional nanometrology based on scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of sample profile combined with interferometer controlled positioning. The interferometric setup not only improves resolution of the position control but also ensures direct traceability to the primary etalon of length. The system was developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology. The interferometers are supplied from a frequency doubled Nd:YAG laser stabilized by linear absorption spectroscopy in molecular iodine and the interferometric configuration controls the stage position in all six degrees of freedom. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1