Počet záznamů: 1
Laser interferometric measuring system for positioning in nanometrology
- 1.
SYSNO ASEP 0351325 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Laser interferometric measuring system for positioning in nanometrology Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAICelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. WSEAS Transactions on Circuits and Systems - ISSN 1109-2734
Roč. 9, č. 10 (2010), s. 660-669Poč.str. 10 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GR - Řecko Klíč. slova Interferometry ; local probe microscopy ; nanometrology ; nanopositioning ; traceability Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd FR-TI1/241 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) Anotace In this contribution we present a development of a system for dimensional nanometrology based on scanning probe microscopy techniques (primarily atomic force microscopy, AFM) for detection of sample profile combined with interferometer controlled positioning. The key goal for introduction of interferometer measurement is not only improvement of resolution but the direct traceability to the primary etalon of length. Interferometry compared to a host of other optical length measuring techniques [1,2,3...] represents the most precise measuring technique available. The system is being developed to operate at and in cooperation with the Czech metrology institute for calibration purposes and nanometrology. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1