Počet záznamů: 1
Transmission mode in scanning low enery electron microscope
- 1.
SYSNO ASEP 0350667 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Transmission mode in scanning low enery electron microscope Tvůrce(i) Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Hovorka, Miloš (UPT-D)
Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 3 Zdroj.dok. Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 / Mika F. - ISBN 978-80-254-6842-5 Rozsah stran s. 41-42 Poč.str. 2 s. Akce International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./ Datum konání 31.05.2010-04.06.2010 Místo konání Skalský dvůr Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova cathode lens ; SEM ; transmitted electron mode Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP IAA100650902 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) UT WOS 000290773700015 Anotace We incorporated the cathode lens (CL) principle, well known from the emission microscope, to the SEM in order to operate at very low landing energies. The primary beam electrons of several keV are decelerated to nearly zero energy of landing on the specimen negatively biased to high potential. Reflected electrons are collected on a grounded detector situated above the sample but the same can be done below the sample of a fair transparency for electrons. High collection efficiency and high amplification of both detectors is secured thanks to the cathode lens field. We use a scintillation detector for the reflected mode and a semiconductor structure for the transmitted electron (TE) mode. In this arrangement resolution of few nm is obtainable across the full energy range. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1