Počet záznamů: 1  

Transmission mode in scanning low enery electron microscope

  1. 1.
    SYSNO ASEP0350667
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevTransmission mode in scanning low enery electron microscope
    Tvůrce(i) Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Hovorka, Miloš (UPT-D)
    Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Celkový počet autorů3
    Zdroj.dok.Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 / Mika F. - ISBN 978-80-254-6842-5
    Rozsah strans. 41-42
    Poč.str.2 s.
    AkceInternational Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./
    Datum konání31.05.2010-04.06.2010
    Místo konáníSkalský dvůr
    ZeměCZ - Česká republika
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CZ - Česká republika
    Klíč. slovacathode lens ; SEM ; transmitted electron mode
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    CEPIAA100650902 GA AV ČR - Akademie věd
    CEZAV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
    UT WOS000290773700015
    AnotaceWe incorporated the cathode lens (CL) principle, well known from the emission microscope, to the SEM in order to operate at very low landing energies. The primary beam electrons of several keV are decelerated to nearly zero energy of landing on the specimen negatively biased to high potential. Reflected electrons are collected on a grounded detector situated above the sample but the same can be done below the sample of a fair transparency for electrons. High collection efficiency and high amplification of both detectors is secured thanks to the cathode lens field. We use a scintillation detector for the reflected mode and a semiconductor structure for the transmitted electron (TE) mode. In this arrangement resolution of few nm is obtainable across the full energy range.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2011
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.