Počet záznamů: 1

Modification of the Schottky Fe ZrO/W electron emitter

SYSNO ASEP	0350657
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Modification of the Schottky Fe ZrO/W electron emitter
Tvůrce(i)	Matějka, František (UPT-D)_{RID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI}
Celkový počet autorů	4
Zdroj.dok.	Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 / Mika F. - ISBN 978-80-254-6842-5
Rozsah stran	s. 13-14
Poč.str.	2 s.
Akce	International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./
Datum konání	31.05.2010-04.06.2010
Místo konání	Skalský dvůr
Země	CZ - Česká republika
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	Schottky electron emitter ; e-beam writing system ; point projection
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP	IAA100650803 GA AV ČR - Akademie věd
	FR-TI1/576 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
UT WOS	000290773700003
Anotace	A Schottky electron emitter with a layer of ZrOx is used in our e-beam writing system working with a rectangular-shaped electron beam. The low radius of the tip less than 300 nm is necessary for the proper function of the electron-optical system based on the principle of point projection. We studied the influence of both the surface treatment and the change of the shape of the tip on the emission characteristics.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2011

Počet záznamů: 1