Počet záznamů: 1  

Growth and characterization of nanodiamond layers prepared using plasma enhanced linear antennas microwave CVD system

  1. 1.
    SYSNO ASEP0349454
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JČlánek ve WOS
    NázevGrowth and characterization of nanodiamond layers prepared using plasma enhanced linear antennas microwave CVD system
    Tvůrce(i) Fendrych, František (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Taylor, Andrew (FZU-D) RID, ORCID
    Peksa, Ladislav (FZU-D) RID
    Kratochvílová, Irena (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Vlček, J. (CZ)
    Řezáčová, V. (CZ)
    Petrák, V. (CZ)
    Kluiber, Z. (CZ)
    Fekete, Ladislav (FZU-D) RID, ORCID
    Liehr, M. (DE)
    Nesládek, M. (BE)
    Zdroj.dok.Journal of Physics D-Applied Physics. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0022-3727
    Roč. 43, č. 37 (2010), 374018/1-374018/6
    Poč.str.6 s.
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.GB - Velká Británie
    Klíč. slovananodiamond, ; thin films ; PE MW CVD ; linear antennas
    Vědní obor RIVBM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    CEPKAN200100801 GA AV ČR - Akademie věd
    KAN300100801 GA AV ČR - Akademie věd
    KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd
    CEZAV0Z10100520 - FZU-D (2005-2011)
    UT WOS000281544100019
    DOI10.1088/0022-3727/43/37/374018
    AnotaceIndustrial applications of PE CVD diamond grown on large area substrates, 3D shapes, at low substrate temperatures and on standard engineering substrate materials require novel plasma concepts. Based on the pioneering work of the group at AIST in Japan, high-density coaxial delivery type of plasmas have been explored [1]. However, an important challenge is to obtain commercially interesting growth rates at very low substrate temperatures. In the presented work we introduce the concept of novel linear antenna sources, designed at Leybold Optics Dresden, using high-frequency pulsed MW discharge. We present data on high plasma densities in this type of discharge (> 1011 cm-3), accompanied by data from OES for CH4 – CO2 - H2 gas chemistry and the basic properties of the nano-crystalline diamond (NCD) films grown.
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2011
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.