Počet záznamů: 1
Growth and characterization of nanodiamond layers prepared using plasma enhanced linear antennas microwave CVD system
- 1.
SYSNO ASEP 0349454 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Growth and characterization of nanodiamond layers prepared using plasma enhanced linear antennas microwave CVD system Tvůrce(i) Fendrych, František (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Taylor, Andrew (FZU-D) RID, ORCID
Peksa, Ladislav (FZU-D) RID
Kratochvílová, Irena (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Vlček, J. (CZ)
Řezáčová, V. (CZ)
Petrák, V. (CZ)
Kluiber, Z. (CZ)
Fekete, Ladislav (FZU-D) RID, ORCID
Liehr, M. (DE)
Nesládek, M. (BE)Zdroj.dok. Journal of Physics D-Applied Physics. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0022-3727
Roč. 43, č. 37 (2010), 374018/1-374018/6Poč.str. 6 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova nanodiamond, ; thin films ; PE MW CVD ; linear antennas Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP KAN200100801 GA AV ČR - Akademie věd KAN300100801 GA AV ČR - Akademie věd KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z10100520 - FZU-D (2005-2011) UT WOS 000281544100019 DOI 10.1088/0022-3727/43/37/374018 Anotace Industrial applications of PE CVD diamond grown on large area substrates, 3D shapes, at low substrate temperatures and on standard engineering substrate materials require novel plasma concepts. Based on the pioneering work of the group at AIST in Japan, high-density coaxial delivery type of plasmas have been explored [1]. However, an important challenge is to obtain commercially interesting growth rates at very low substrate temperatures. In the presented work we introduce the concept of novel linear antenna sources, designed at Leybold Optics Dresden, using high-frequency pulsed MW discharge. We present data on high plasma densities in this type of discharge (> 1011 cm-3), accompanied by data from OES for CH4 – CO2 - H2 gas chemistry and the basic properties of the nano-crystalline diamond (NCD) films grown. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2011
Počet záznamů: 1