Počet záznamů: 1
Simplified procedure for patterned growth of nanocrystalline diamond micro-structures
- 1.
SYSNO ASEP 0337500 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Simplified procedure for patterned growth of nanocrystalline diamond micro-structures Tvůrce(i) Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Rezek, Bohuslav (FZU-D) RID, ORCID
Ledinský, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hruška, Karel (FZU-D) RID, ORCID
Potměšil, Jiří (FZU-D)
Vaněček, Milan (FZU-D) RIDZdroj.dok. Thin Solid Films. - : Elsevier - ISSN 0040-6090
Roč. 518, č. 1 (2009), s. 343-347Poč.str. 7 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova atomic force microscopy ; Raman spectroscopy ; nanocrystalline diamond ; selective diamond growth ; seed layer ; patterning Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP KAN400100701 GA AV ČR - Akademie věd KAN400100652 GA AV ČR - Akademie věd IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z1010921 - FZU-D UT WOS 000270628800059 DOI 10.1016/j.tsf.2009.06.014 Anotace Two technological strategies to generate patterned diamond growth have been tested. The diamond microstructures (i.e. linear stripes and 5 μm narrow channels) were grown in the thickness of 450 nm on Si/SiO2 substrates by a microwave plasma chemical vapor deposition process. The observed results appear promising for the development of directly grown diamond-based transistors. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2010
Počet záznamů: 1