Počet záznamů: 1  

Simplified procedure for patterned growth of nanocrystalline diamond micro-structures

  1. 1.
    SYSNO ASEP0337500
    Druh ASEPJ - Článek v odborném periodiku
    Zařazení RIVJ - Článek v odborném periodiku
    Poddruh JČlánek ve WOS
    NázevSimplified procedure for patterned growth of nanocrystalline diamond micro-structures
    Tvůrce(i) Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
    Rezek, Bohuslav (FZU-D) RID, ORCID
    Ledinský, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Hruška, Karel (FZU-D) RID, ORCID
    Potměšil, Jiří (FZU-D)
    Vaněček, Milan (FZU-D) RID
    Zdroj.dok.Thin Solid Films. - : Elsevier - ISSN 0040-6090
    Roč. 518, č. 1 (2009), s. 343-347
    Poč.str.7 s.
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.CH - Švýcarsko
    Klíč. slovaatomic force microscopy ; Raman spectroscopy ; nanocrystalline diamond ; selective diamond growth ; seed layer ; patterning
    Vědní obor RIVBM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    CEPKAN400100701 GA AV ČR - Akademie věd
    KAN400100652 GA AV ČR - Akademie věd
    IAAX00100902 GA AV ČR - Akademie věd
    CEZAV0Z1010921 - FZU-D
    UT WOS000270628800059
    DOI10.1016/j.tsf.2009.06.014
    AnotaceTwo technological strategies to generate patterned diamond growth have been tested. The diamond microstructures (i.e. linear stripes and 5 μm narrow channels) were grown in the thickness of 450 nm on Si/SiO2 substrates by a microwave plasma chemical vapor deposition process. The observed results appear promising for the development of directly grown diamond-based transistors.
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2010
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.