Počet záznamů: 1

Deposition of PZT thin films on copper-coated polymer foils

SYSNO ASEP	0337271
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Deposition of PZT thin films on copper-coated polymer foils
Překlad názvu	Depozice PZT tenkých vrstev na poměděné polymerové folie
Tvůrce(i)	Suchaneck, G. (DE) Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID} Dejneka, Alexandr (FZU-D)_{RID, ORCID} Kiselev, D. (PT) Bdikin, I. (PT) Kholkin, A. (PT) Gerlach, G. (DE)
Celkový počet autorů	8
Zdroj.dok.	Relability and Properties of Electronic Devices on Flexible Substrates (Simposium I at the 2008 MRS Fall Meeting). - Warrendale, PA : MRS, 2009 / Greer J.R. ; Vlassak J. ; Daniel J. ; Tsui T. - ISBN 9781615673834
Rozsah stran	i0305/1-i0305/2
Poč.str.	2 s.
Akce	Materials Research Society Fall Meeting
Datum konání	01.12.2008-05.12.2008
Místo konání	Boston
Země	US - Spojené státy americké
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	US - Spojené státy americké
Klíč. slova	PZT on polymer-foils ; RF-modulated plasma jet system
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	GA202/08/1009 GA ČR - Grantová agentura ČR
	KJB100100703 GA AV ČR - Akademie věd
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
Anotace	In this work, we investigate the deposition of Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films directly onto copper-coated polymer foils. (111)-textured PZT was fabricated on these flexible substrates by means of a RF-modulated plasma jet system comprising a hollow cathode for reactive sputtering. Film composition and microstructure as well as piezoelectric and dielectric film properties were investigated. The deposited films are suitable as embedded capacitors as well as flexible piezoelectric sensors, actuators and power generators.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2010

Počet záznamů: 1