Počet záznamů: 1
Piezoelectric PZT thin films on flexible copper-coated polymer films
- 1.
SYSNO ASEP 0336533 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Piezoelectric PZT thin films on flexible copper-coated polymer films Překlad názvu Piezoelektrické tenké vrstvy PZT na flexibilních mědí pokrytých polymerních foliích Tvůrce(i) Suchaneck, G. (DE)
Volkonskiy, O. (DE)
Gerlach, G. (DE)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Dejneka, Alexandr (FZU-D) RID, ORCID
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Kiselev, D. (PT)
Bdikin, I. (PT)
Kholkin, A. (PT)Celkový počet autorů 9 Zdroj.dok. Materials Science Forum - ISSN 0255-5476
636/637, - (2010), s. 392-397Poč.str. 6 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova plasma jet deposition ; PZT ; kapton® film substrate ; piezoresponse force microscopy Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP GC202/09/J017 GA ČR - Grantová agentura ČR KJB100100703 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) DOI 10.4028/www.scientific.net/MSF.636-637.392 Anotace This work analyzes the processing of Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films directly on copper-coated polymer films. PZT thin film deposition was performed onto the metallized Kapton® films using a single RF plasma jet. In order to reduce the interaction of PZT and Cu during the initial growth stage, an ultrathin amorphous TiOx seeding layer was sputter-deposited prior to PZT deposition.Topography and piezoelectric response of the films were evaluated using a commercial AFM adapted for piezoforce measurements.The as-deposited films were self-polarized with a piezoelectric hysteresis. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2010
Počet záznamů: 1