Počet záznamů: 1

Novel instrumentation for interferometric nanoscale comparator

SYSNO ASEP	0335088
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Novel instrumentation for interferometric nanoscale comparator
Tvůrce(i)	Čížek, Martin (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Buchta, Zdeněk (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Mikel, Břetislav (UPT-D)_{RID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Celkový počet autorů	5
Zdroj.dok.	Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VI. (Proceedings of SPIE Vol. 7389). - Bellingham : SPIE, 2009 - ISSN 0277-786X - ISBN 978-0-8194-7672-2
Rozsah stran	73982y: 1-7
Poč.str.	7 s.
Akce	Optical Measurement Systems for Industrial Inspection /6./
Datum konání	14.06.2009-18.06.2009
Místo konání	Munich
Země	DE - Německo
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	US - Spojené státy americké
Klíč. slova	high resolution interferometry ; laser comparator ; precision displacement sensors
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEP	GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR
	LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR
	GP102/09/P630 GA ČR - Grantová agentura ČR
	KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
DOI	10.1117/12.827515
Anotace	Presented paper deals with the description of subsystems of a novel interferometric nanocomparator. High speed digital quadrature detector based on digital signal controller is used here for processing of the X-Y signals from the detection unit of the interferometer. Digital filtering increases signal to noise ratio and allows achievement of sub-nanometer resolution and accuracy of the laser interferometer. The refractive index of the air is computed continuously from the current atmospheric values using Edlen's formula. High dynamic range of the mirror displacement setting is achieved using a two stage positioning system formed of a linear guide way and piezoelectric actuators. The linear guide way is used for open-loop coarse positioning with 50 nm accuracy and up to 100 mm of displacement. Piezoelectric actuators in servo-loop linked to the interferometer value are used for fine positioning with better than 1 nm accuracy over a 5 μm range.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2010

Počet záznamů: 1