Počet záznamů: 1

Physical properties of homogeneous TiO.sub.2./sub. films prepared by high power impulse magnetron sputtering as a function of crystallographic phase and nanostructure

SYSNO ASEP	0334335
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Physical properties of homogeneous TiO₂ films prepared by high power impulse magnetron sputtering as a function of crystallographic phase and nanostructure
Překlad názvu	Fyzikální vlastnosti homogenních TiO₂ vrstev připravovaných pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového odprašování v závislosti na krystalografické fázi a nanostruktuře
Tvůrce(i)	Straňák, Vítězslav (FZU-D)_{RID, ORCID} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Quaas, M. (DE) Block, S. (DE) Bogdanowicz, R. (PL) Kment, Štěpán (FZU-D)_{RID, ORCID} Wulff, H. (DE) Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Helm, Ch.A. (DE) Tichý, M. (CZ) Hippler, R. (DE)
Celkový počet autorů	11
Zdroj.dok.	Journal of Physics D-Applied Physics. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0022-3727 Roč. 42, č. 10 (2009), 105204/1-105204/12
Poč.str.	12 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	GB - Velká Británie
Klíč. slova	TiO₂ ; high power magnteron sputtering ; plasma diagnostic ; film diagnostic
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd
	KJB100100805 GA AV ČR - Akademie věd
	KAN400720701 GA AV ČR - Akademie věd
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
UT WOS	000265677400036
DOI	10.1088/0022-3727/42/10/105204
Anotace	Optical, photo-electrochemical, crystallographic and morphological properties of TiO2 thin films prepared by high power impulse magnetron sputtering at low substrate temperatures (<65 ◦C) without post-deposition thermal annealing are studied. The different crystallographic phases were determined with grazing incidence x-ray diffractometry. The surface morphology and size of TiO2 grains/clusters were imaged with atomic force microscopy. Basic plasma parameters were determined by means of the time-resolved Langmuir probe technique. The power density influx on the substrate was estimated from calorimetric probe measurement. The data from calorimetric probe measurements and time-resolved Langmuir probe served as input parameters for the calculation of influx contributions of particular species.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2010

Počet záznamů: 1