Počet záznamů: 1

Local probe microscopy with interferometric monitoring of the stage nanopositioning

SYSNO ASEP	0330674
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Local probe microscopy with interferometric monitoring of the stage nanopositioning
Tvůrce(i)	Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Klapetek, P. (CZ) Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID} Čížek, Martin (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Šerý, Mojmír (UPT-D)_{RID, SAI}
Celkový počet autorů	5
Zdroj.dok.	Measurement Science and Technology. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0957-0233 Roč. 20, č. 8 (2009), 084007: 1-6
Poč.str.	6 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	GB - Velká Británie
Klíč. slova	interferometry ; local probe microscopy ; nanometrology ; nanoscale ; surface probe microscopy (SPM) ; atomic force microscopy (AFM) ; nanopositioning interferometry
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEP	IAA200650504 GA AV ČR - Akademie věd
	2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
	GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
UT WOS	000267513600008
DOI	10.1088/0957-0233/20/8/084007
Anotace	We present a system of positioning and interferometric monitoring of a sample position for measurements and calibration in the nanoscale in metrology. The positioning is based on a three-axis stage which allows replacing scanning by the probe of an atomic force microscope with a system with full interferometric displacement measurement. A stage with 200 μm × 200 μm of horizontal travel extends also the microscope range. The stage allows positioning with sub-nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitive sensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2010

Počet záznamů: 1