Počet záznamů: 1

Hybrid laser - magnetron technology for carbon composite coating

SYSNO ASEP	0330295
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Hybrid laser - magnetron technology for carbon composite coating
Překlad názvu	Hybridní laser - magnetronová technologie pro kompozitní uhlíkové vrstvy
Tvůrce(i)	Jelínek, Miroslav (FZU-D)_{RID, ORCID} Kocourek, Tomáš (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Kadlec, J. (CZ) Zemek, Josef (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Laser Physics - ISSN 1054-660X Roč. 19, č. 2 (2009), 149-153
Poč.str.	5 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	RU - Rusko
Klíč. slova	SiC ; thin films ; PLD ; hybrid deposition ; composites
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	GA202/06/0216 GA ČR - Grantová agentura ČR
	GA202/07/0591 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
	AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011)
UT WOS	000263260200001
DOI	10.1134/S1054660X09020017
Anotace	Hybrid laser- magnetron deposition system was developed and tested for study of carbon based thin film coatings. Various geometrical configurations and deposition conditions were tested. Films of TiC, TiCN, and SiC were synthesized. Films were fabricated in argon (TiC), in argon/nitrogen (TiCN), or in argon/hydrogen ambient (SiC films). Film properties were studied by SEM, XRD, GDOES, and XPS. Smooth, homogeneous film over the area of 9 cm 2 were prepared. Crystalline TiC films were grown at room substrate temperature Hybrid laser- magnetron deposition system was developed and tested for study of carbon based thin film coatings.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2010

Počet záznamů: 1