Počet záznamů: 1
Space resolved optical emission spectroscopy during deposition of Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films by double hollow cathode plasma Jet system
- 1.
SYSNO ASEP 0326764 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Space resolved optical emission spectroscopy during deposition of BaxSr1-xTiO3 thin films by double hollow cathode plasma Jet system Překlad názvu Prostorově rozlišená optická emisní spektroskopie během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvojtryskového plazma-jet systému Tvůrce(i) Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Virostko, Petr (FZU-D)
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Dejneka, Alexandr (FZU-D) RID, ORCIDCelkový počet autorů 8 Zdroj.dok. Materials Science Forum - ISSN 0255-5476
Roč. 609, - (2009), s. 105-109Poč.str. 5 s. Akce International Conference on Thin Films and Porous Materials /1./ Datum konání 19.05.2008-22.05.2008 Místo konání Algiers Země DZ - Alžírsko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CH - Švýcarsko Klíč. slova BaxSr1-xTiO3 ; BSTO ; ferroelectric films ; hollow cathode ; optical emission spectroscopy Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP GA202/08/1009 GA ČR - Grantová agentura ČR KJB100100707 GA AV ČR - Akademie věd KAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd 1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) UT WOS 000264750100016 DOI 10.4028/3-908454-02-6.105 Anotace Pulse modulated double hollow cathode RF plasma jet system with two separate independent nozzles made of BaTiO3 (BTO) and SrTiO3 (STO) was used for deposition of BSTO thin films on Si and on multi-layer Si/SiO2/TiO2/Pt substrates. Space resolved optical emission spectroscopy (OES) was used mainly for monitoring of concentration of particles sputtered from the hollow cathode and for feedback correction of power supplied in both nozzles because applied power was responsible for sputtering speed of Ba and Sr particles. Main attention was focused on relation between ratio of spectral intensity of Ba, Ba+, Sr and Sr+ lines close to substrate and ratio of Ba and Sr concentration in the deposited film. 2D map of emission lines intensity distribution for Ba, Ba+, Sr, Sr+, Ti, Ar, and Ar+ for double hollow cathode plasma jet system with BTO and STO nozzles was created. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2010
Počet záznamů: 1