Počet záznamů: 1
Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy
- 1.
SYSNO ASEP 0325114 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy Překlad názvu Interferometrické měření polohy pro mikroskopii s lokální sondou Tvůrce(i) Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Čížek, Martin (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Šerý, Mojmír (UPT-D) RID, SAICelkový počet autorů 4 Zdroj.dok. tm-Technisches Messen - ISSN 0171-8096
Roč. 76, č. 5 (2009), s. 253-258Poč.str. 6 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. DE - Německo Klíč. slova Interferometry ; local probe microscopy ; nanometrology Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy IAA200650504 GA AV ČR - Akademie věd KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd 2A-1TP1/127 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu FT-TA3/133 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu 2A-3TP1/113 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu GA102/07/1179 GA ČR - Grantová agentura ČR 2C06012 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy CEZ AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011) UT WOS 000268616200007 DOI 10.1524/teme.2009.0965 Anotace In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2009
Počet záznamů: 1