Počet záznamů: 1

Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection

SYSNO ASEP	0316451
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection
Překlad názvu	Ablační mikrostrukturování povrchu organického polymeru rentgenovým laserem
Tvůrce(i)	Mocek, Tomáš (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Rus, Bedřich (FZU-D)_ORCID Kozlová, Michaela (FZU-D)_{RID, ORCID} Polan, Jiří (FZU-D) Homer, Pavel (FZU-D)_RID Juha, Libor (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Hájková, Věra (FZU-D)_{RID, ORCID} Chalupský, Jaromír (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Optics Letters. - : Optical Society of America - ISSN 0146-9592 Roč. 33, č. 10 (2008), s. 1087-1089
Poč.str.	3 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	US - Spojené státy americké
Klíč. slova	x-ray lasers ; laser ablation ; microstructuring
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEP	KAN300100702 GA AV ČR - Akademie věd
	GA202/05/2316 GA ČR - Grantová agentura ČR
	LC510 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	LC528 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	LA08024 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z10100523 - FZU-D (2005-2011)
UT WOS	000256520500018
DOI	10.1364/OL.33.001087
Anotace	We report on a single-shot micropatterning of an organic polymer achieved by ablation with demagnifying projection using a Ne-like Zn 21.2 nm soft x-ray laser. A nickel mesh with a period of 100 mu m was similar to 10x demagnified and imprinted on poly(methyl methacrylate) via direct ablation. The quality of the ablated microstructure was found to be mainly dependent on the quality of the projected mask. This first demonstration (to our knowledge) of single-shot projection, single-step lithography illustrates the potential of soft x-ray lasers for the direct patterning of materials with a resolution scalable down to submicrometer domain.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2009

Počet záznamů: 1