Počet záznamů: 1
Contrast at Very Low Energies of the Gold/Carbon Specimen for Resolution Testing
- 1.
SYSNO ASEP 0100008 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Ostatní články Název Contrast at Very Low Energies of the Gold/Carbon Specimen for Resolution Testing Překlad názvu Kontrast při velmi nízkých energiích u vzorku zlato/uhlík pro testování rozlišení Tvůrce(i) Müllerová, Ilona (UPT-D) RID, SAI, ORCID
Frank, Luděk (UPT-D) RID, SAI, ORCIDZdroj.dok. Scanning - ISSN 0161-0457
Roč. 25, 18/24 (2004), s. 18-24Poč.str. 7 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova scanning electron microscope ; very low energy ; cathode lens Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP IAA1065304 GA AV ČR - Akademie věd Anotace This paper concerns the problem of testing the image resolution in scanned electron micrographs, namely from the point of view of the image contrast for the standard gold/carbon test specimen within the full energy scale, down to eV units. Microscopes equipped with a cathode lens are considered and experimental results are presented for three devices differing in vacuum conditions and fields surrounding the specimen. At very low energies, the contrast is shown to either invert or disappear and this ambiguity is discussed and confronted with data simulated on the basis of measured electron yields from gold and carbon. It is concluded that the observations can be explained in terms of the surface cleanliness and strength of in the surrounding fields Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2005
Počet záznamů: 1