Počet záznamů: 1

Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge

SYSNO ASEP	0053681
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Ostatní články
Název	Blue Diode Laser Absorption Spectroscopy of Pulsed Magnetron Discharge
Překlad názvu	Laserová absorpční spektroskopie pulsního magnetronového výboje pomocí modré diody
Tvůrce(i)	Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Do, H.T. (DE) Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Hippler, R. (DE) Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Japanese Journal of Applied Physics. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0021-4922 Roč. 45, 10B (2006), s. 8090-8094
Poč.str.	5 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	JP - Japonsko
Klíč. slova	laser absorption spectroscopy ; pulsed magnetron ; sputtering parameters
Vědní obor RIV	BH - Optika, masery a lasery
CEP	1QS100100563 GA AV ČR - Akademie věd
	GA202/05/2242 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z10100521 - FZU-D (2005-2011)
	AV0Z10100520 - FZU-D (2005-2011)
Anotace	Laser absorption spectroscopy of Al atoms in pulsed magnetron discharge with pure argon, argon/oxygen, and argon/methane gas mixtures is reported. Time-averaged densities and temperatures of sputtered Al atoms were extracted from the absorption signal. The measured Al density depended linearly on the pulse current and showed a small dependence on pressure.The critical oxygen gas flow was significantly higher in pulsed mode than in DC mode
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2007

Počet záznamů: 1