Počet záznamů: 1

Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation

SYSNO ASEP	0043825
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Článek ve WOS
Název	Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation
Překlad názvu	Depozice nanokystalického diamantu metodou mikrovlnného PECVD s nukleací pomocí rf predpětí
Tvůrce(i)	Frgala, Z. (CZ) Jašek, O. (CZ) Karásková, M. (CZ) Zajíčková, L. (CZ) Buršíková, V. (CZ) Franta, D. (CZ) Matějková, Jiřina (UPT-D) Rek, Antonín (UPT-D)_RID Klapetek, P. (CZ) Buršík, Jiří (UFM-A)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Czechoslovak Journal of Physics. - : Springer - ISSN 0011-4626 Roč. 56, Suppl. B (2006), s. 1218-1223
Poč.str.	6 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	CZ - Česká republika
Klíč. slova	nanocrystalline diamond ; plasma enhanced chemical vapor deposition ; self-bias
Vědní obor RIV	BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
CEP	GA202/05/0607 GA ČR - Grantová agentura ČR
CEZ	AV0Z20650511 - UPT-D (2005-2011)
	AV0Z20410507 - UFM-A (2005-2011)
UT WOS	000241337000029
Anotace	Nanocrystalline diamond film was deposited by microwave CVD in the ASTeX type reactor on a mirror polished (111) oriented n-doped silicon substrate. The deposition mixture consisted of 9 % of methane in hydrogen. The applied microwave power (2.45 GHz) and pressure were 850 W and 7.5 kPa, respectively. The substrate temperature was 1 090 K. The diamond nucleation process was enhanced by rf induced dc self {bias of -125 V. The film exhibited very low roughness (rms of heights 9.1 nm). Its hardness and elastic modules were 70 and 375 GPa, respectively. The optical constants were determined by combination of spectroscopic ellipsometry and reflectometry employing the Rayleigh-Rice theory for the roughness and the dispersion model of optical constants based on the parameterization of densities of states. The deposition rate was 57 nm/min including the 5 min nucleation step.
Pracoviště	Ústav přístrojové techniky
Kontakt	Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
Rok sběru	2007

Počet záznamů: 1