Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01

Šmíd, Jiří - Hubička, Zdeněk - Straňák, Vítězslav - Churpita, Olexandr - Čada, Martin - Jastrabík, Lubomír - Olejníček, Jiří - Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Potocký, Štěpán - Lukašík, P. - Piják, A. - Dolák, J. - Martinek, P. - Pitrun, J. - Rek, Š. - Konečný, L. - Mareš, G. - Štepánek, J. - Jakeš, J. - Křenek, Z. - Joštic, M.
Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01.
[Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01.]
Interní kód: PST1/FZÚ-SVCS/2011 ; 2011
Technické parametry: Vnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH
Ekonomické parametry: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
http://hdl.handle.net/11104/0204848