Počet záznamů: 1
Investigation of the negative ions in Ar/O.sub.2./sub. plasma of magnetron sputtering discharge with Al:Zn target by ion mass spectrometry
- 1.Pokorný, Petr - Mišina, Martin - Bulíř, Jiří - Lančok, Ján - Fitl, Přemysl - Musil, Jindřich - Novotný, Michal
Investigation of the negative ions in Ar/O2 plasma of magnetron sputtering discharge with Al:Zn target by ion mass spectrometry.
Plasma Processes and Polymers. Roč. 8, č. 5 (2011), s. 459-464. ISSN 1612-8850. E-ISSN 1612-8869
Impakt faktor: 2.468, rok: 2011
http://hdl.handle.net/11104/0199569
Počet záznamů: 1