Počet záznamů: 1
Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers
- 1.0397634 - ÚPT 2014 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
Bok, Jan - Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav - Matějka, Milan - Matějka, František
Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers.
Journal of Vacuum Science & Technology B. Roč. 31, č. 3 (2013), 031603:1-6. ISSN 1071-1023
Grant CEP: GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020118
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: electron-beam * intensity distribution * aperture * detector * profile * size
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Impakt faktor: 1.358, rok: 2013
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0225249
Počet záznamů: 1