Počet záznamů: 1  

Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers

  1. 1.
    0397634 - ÚPT 2014 RIV US eng J - Článek v odborném periodiku
    Bok, Jan - Kolařík, Vladimír - Horáček, Miroslav - Matějka, Milan - Matějka, František
    Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers.
    Journal of Vacuum Science & Technology B. Roč. 31, č. 3 (2013), 031603:1-6. ISSN 1071-1023
    Grant CEP: GA MŠMT ED0017/01/01; GA TA ČR TE01020118
    Institucionální podpora: RVO:68081731
    Klíčová slova: electron-beam * intensity distribution * aperture * detector * profile * size
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    Impakt faktor: 1.358, rok: 2013

    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0225249
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.