Počet záznamů: 1
Imaging of dopants under presence of surface ad-layers
- 1.0350664 - ÚPT 2011 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Mika, Filip - Hovorka, Miloš - Frank, Luděk
Imaging of dopants under presence of surface ad-layers.
Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2010 - (Mika, F.), s. 35-36. ISBN 978-80-254-6842-5.
[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./. Skalský dvůr (CZ), 31.05.2010-04.06.2010]
Grant CEP: GA ČR GP102/09/P543
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: scanning electron microscopy * semiconductor structures * image contrast * dopant concentration * secondary electron emission
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://arl-repository.lib.cas.cz/uloziste_av/UPT-D/cav_un_epca-0350664_01.pdf
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0190604
Počet záznamů: 1