Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01

0371302 - FZÚ 2012 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Šmíd, Jiří - Hubička, Zdeněk - Straňák, Vítězslav - Churpita, Olexandr - Čada, Martin - Jastrabík, Lubomír - Olejníček, Jiří - Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Potocký, Štěpán - Lukašík, P. - Piják, A. - Dolák, J. - Martinek, P. - Pitrun, J. - Rek, Š. - Konečný, L. - Mareš, G. - Štepánek, J. - Jakeš, J. - Křenek, Z. - Joštic, M.
Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01.
[Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01.]
Interní kód: PST1/FZÚ-SVCS/2011 ; 2011
Technické parametry: Vnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH
Ekonomické parametry: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
Grant CEP: GA TA ČR TA01011740
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: microwave * surfatron * thin films * plasma * deposition * plasma jet * surface wave
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech

V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli hybridní a modulární plazmatický zdroj se systémem plazmatických kanálů generovaných povrchovou elektromagnetickou vlnou.

Hybrid and modular plasma source with system of plasma jets generated by electromagnetic surface wave was developed in frame of grant TACR.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0204848